非航空民品

基础器件

 光纤压力传感器
光纤压力传感器

通过MEMS技术及真空样机键合工艺,利用超薄硅片的形变感受外界压力的变化,通过采集硅片上反射回来的光信号,解算出硅片的变形量,进而得出外界压力的大小。