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机电自动化

大口径分子泵及控制器
大口径分子泵及控制器

复合型涡轮分子泵和涡轮分子泵在设计原理相同,也是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的分子泵。其优点是启动快、抗各种射线、耐大气冲击、无气体存储和解吸效应、无油蒸汽污染等。由于其压缩比大,密封严格,占地空间小,同等压缩比之下涡轮分子泵比油扩散泵所占空间小的多,加之它能够获得清洁的超高真空。因而涡轮分子泵广泛运用于真空要求高的机械、电子行业。与涡轮分子泵不同的是,复合型涡轮分子泵加入涡轮转子和涡轮定片,其空气分子导引性能更强,比起 涡轮分子泵,它能在较低的转速下可以获得更高的空气压缩比,其结构更加稳定,震动程度减小,其机械结构更复杂、精密,但性能更好。